硅碳棒在高温条件下碱性物质对其有侵蚀作用。
硅碳棒元件在1000℃以上长期使用能与氧气和水蒸气发生如下作用：
①Sic+2O2→Sio2+CO2 ②Sic+4H2O＝Sio2+4H2+CO2
    致使元件中Sic2含量逐渐增多，电阻随之缓慢增加，为之老化。如水蒸气过多，会促进Sic氧化，由②式反应产生的H2与空气中的O2给合H2O再反应产生恶性