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硅碳棒具有高抗氧化性、在高温气氛下、原件的表面生成一层致密的石英SIO2保护层以防止MOSI2继续氧化。当元件温度大于1700度、熔点1710度的SIO2保护层熔融、由于表面张力的作用、SIO2熔聚成滴、而失去保护作用。元件在氧化气氛下在继续使用时、SIO2保护层重新生成 。